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Thermo Scientific™ SURF-CAL™ Partikelgrößenstandards

Vereinfachen Sie mit diesen Partikelgrößenstandards die Vorbereitung von Kalibrierungswafern.

Brand:  Thermo Scientific™ PD-800

186.83 EUR gültig bis 2025-12-31
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Artikelnummer. 11844892

  • 204.00 € / 50 Milliliter

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Beskrivelse

Beskrivelse

Vereinfachen Sie die Vorbereitung von Kalibrierungswafern mit Thermo Scientific™ SURF-CAL™ Partikelgrößenstandards zur Kalibrierung und Wartung von Oberflächeninspektionssystemen (Scanning Surface Inspection Systems, SSIS). Erhältliche Partikelgrößen entsprechen den von den Instrumentenherstellern geforderten Kalibrierpunktgrößen.

Thermo Fisher Scientific™ hat zusammen mit der Halbleiterindustrie und SEMI bestimmte Partikelgrößen festgelegt, die bei der Kalibrierung von Oberflächeninspektionssystemen verwendet werden. Wir haben zusammen mit den Instrumentenherstellern die Produktreihe SURF-CAL™ entwickelt, welche die Richtlinien der SEMI-Norm erfüllt.
  • Die verfügbaren Größen werden gemäß Definition in der „International Technology Roadmap for Semiconductors“ (ITRS) als wesentliche Kalibrierungsknoten betrachtet.
  • Durch das Auftragen von SURF-CAL™ NIST™-nachweisbaren Polystyrollatexsphären (PSL) auf speziell ausgewählte Wafer können regelmäßige Kalibrierungsprüfungen durchgeführt und Scanner vor Ort mit Scannern an anderen Standorten verglichen werden
  • Des Weiteren kann die Leistung der SSIS in kritischen Phasen des Herstellungsverfahrens eingeschätzt werden.
  • Alle Produkte sind in deionisiertem gefiltertem Wasser in 50 ml-Flaschen bei einer Konzentration von 3 × 108 Partikeln pro Milliliter suspendiert.

Hinweis:

Die Produkte PD1100 und kleiner sind auch mit 1010 Partikeln pro ml für Anwendungen erhältlich, bei denen ein Differenzial-Mobilitätsanalysator (DMA) oder weitere Größenausschlusstechnologien eingesetzt werden.

TRUSTED_SUSTAINABILITY
Tekniske data

Tekniske data

Ohne
Sofern nicht anders angegeben, bei Nichtverwendung kühl lagern (bei 2 bis 8 °C), jedoch nicht einfrieren. Aufrecht lagern und Flasche dicht verschlossen halten Produkt entweder manuell durch vorsichtiges Überkopfdrehen oder mittels Vortexmixer mischen.
Partikel für die Kalibrierung und Wartung von Scanoberflächen-Inspektionssystemen (SSIS)
SSIS-Kalibrierung und Wartung
Partikel in Standardgrößen
1.05g/cm ³
1,59 bei 589 nm (25 °C)
Produkt stabil für mindestens 12 Monate
3 x 108 Partikel / ml
Polystyrol-Mikrosphären in deionisiertem, gefiltertem Wasser
Weiß oder farblos
Polystyrol
Zertifikat der Kalibrierung und Rückverfolgbarkeit gemäß NIST
50 mL
0.006μm
0,809 μm
Produktforslag

Produktforslag

Videoer
SDS
Dokumenter

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Produktcertifikater
Kampagner

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